型号 |
VMU222 |
VMU322 |
VMU432 |
行程(mm)* |
200×200×200 |
300×200×200 |
400×300×200 |
外型尺寸(mm) |
1040×740×1620 |
1040×740×1620 |
1240×800×1620 |
重量(kg) |
240 |
250 |
310 |
承重(kg) |
25 |
25 |
25 |
测量精度 |
XY轴** |
E2=(1.5+L/300)μm |
E2=(1.9+L/300)μm |
Z轴*** |
E1=(5.0+L/200)μm |
速度 |
XY轴 |
500mm/S |
Z轴 |
100mm/S |
光栅尺 |
0.1μm Renishaw光栅尺 |
导轨 |
THK |
图像传感器 |
高清晰彩色专用工业摄像机 |
光源 |
轮廓光 |
LED冷光源,256级亮度可调 |
可升降表面光 |
3内环3外环8区LED冷光源,各段独立操作,256级亮度可调,外3环可程控升降,提供45°到75°多种落射角度照明 |
同轴光 |
LED冷光源,256级亮度可调 |
光学镜头 |
12.5:1连续变倍 |
放大倍率**** |
光学放大倍率:0.6~7.5×;影像放大倍率:18~230× |
软件 |
Vispec测量软件(VMU版) |
运动控制 |
自主专利的CNC直流伺服系统 |
保修期 |
1年 |
工作环境 |
温度20℃±2℃,温度变化<2℃/hr,湿度30~80% |
振动<0.002g,低于15Hz |
电源 |
220V/50Hz/10A |
* Z轴标配有效测量行程135mm,可加高至300mm。
** L表示测量长度,以毫米为单位。
*** Z轴的机械精度,聚焦的精度与工件表面有很大关系。
**** 放大倍率为近似值,具体指与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关;客户可根据需求选配0.5×或2×附加镜,实现影像放大倍率9~115×或36~460×。