表面粗糙度 測定范围/分解能 Z：800μm/0.08nm 测量速度 0.05～2mm/s 测针 R2μm 0.75mN以下 轮廓形状 测定精度 Z：±（2.5+0.5×ｌ H ｌ）μm以下 H：変位(mm) 測定范围 Z：30mm X：55mm 测针 R25μm 10～30mN
X：±（2.5+0.02L)μm以下 L：測定长（mm）
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