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轮廓形状测定机EF651D产品参数
| 测定范围 | Z:60mm X:100mm |
|---|---|
| 测定精度 | 士(0.8+2H/100)um |
| 触针/测定力 | R25um 30mN以下 |
| 测定角度 | 上坡77° 下坡87° |
| 解析 | 要素解析/方位向量/MASTER比较/ 滚珠螺杆/非球面解析 |
| 分解能 | Z:0.025um |
| 直线度精度 | 1.0um/100mm |
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