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Specification
EdgeMaster 产品规格
| EdgeMaster | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
物鏡放大
|
10X
|
20X
|
50X
|
2xSX
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5xAX
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10xAX
|
20xAX
|
50xSX
|
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工作距离
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17.5mm
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16mm
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10.1mm
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34mm
|
34mm
|
33.5mm
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20mm
|
13mm
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横向测量范围
（X，Y） （X x Y） |
2mm
4mm² |
1mm
1mm² |
0.4mm
0.16mm² |
10mm
100mm² |
3.61mm
13.03mm² |
2mm
4mm² |
1mm
1mm² |
0.4mm
0.16mm² |
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垂直分辨率
|
100nm
|
50nm
|
20nm
|
3500nm
|
460nm
|
130nm
|
70nm
|
45nm
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高度步进精度（1mm）
|
0.1%
|
0.1%
|
0.1%
|
0.1%
|
0.1%
|
0.1%
|
0.1%
|
0.1%
|
|
最小可測粗糙度（Ra）
|
0.3µm
|
0.15µm
|
0.08µm
|
n.a.
|
n.a.
|
0.45µm
|
0.25µm
|
0.15µm
|
|
最小可测粗糙度（Ra）
|
0.15µm
|
0.075µm
|
0.05µm
|
n.a
|
n.a
|
0.25µm
|
0.1µm
|
0.08µm
|
|
最小可测半径
|
5µm
|
3µm
|
2µm
|
20µm
|
10µm
|
5µm
|
3µm
|
2µm
|
