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轮廓仪|轮廓形状测定机EF651D

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轮廓形状测定机EF651D产品参数

 

测定范围 Z:60mm X:100mm
测定精度 士(0.8+2H/100)um
触针/测定力 R25um 30mN以下
测定角度 上坡77° 下坡87°
解析 要素解析/方位向量/MASTER比较/ 滚珠螺杆/非球面解析
分解能 Z:0.025um
直线度精度 1.0um/100mm

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