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轮廓仪|轮廓形状测定机 EF550-M50/-M58/-M58

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 轮廓形状测定机EF550A-M50/EF550A--M58产品参数

 

测定精度 Z: 土(2.5+05 × IHI) um以下 H:变位(mm)
X: 士(2.5+0.02L) um以下 L:测定长度(mm)
分解能 X:0.1um Z:0.25?m
取样数/最小间隔 Max 64,000点/Min 0.5um
测定范围 Z:30mm X:50mm
表示倍率 纵(Z)、横(X):1 ~2,000倍
直线度精度 1.0um/100mm


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