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轮廓仪|轮廓形状测定机 EF650

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轮廓形状测定机EF650产品参数

 

测定范围 Z:60mm X:100mm
测定精度 Z:士0.25%/满刻度
触针/测定力 R25um 30mN以下
测定角度 上坡77° 下坡87°
测定倍率 纵横均为1~200倍
分解能 Z:0.1um
直线度精度 1.0um/100mm

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