坐标测量：一种通过对工件轮廓面进行离散点坐标获取、几何要素拟合操作后进行误差评定的几何量测量技术。
然而，很多时候，尽管具有足够的规格参数要求和严格的生产控制，但并不是所有的采购件都完全符合采购要求。因此采购企业虽然有大量的测量报告在手，但还是主动对所有的采购件自行进行检测，或者通过他们的供应商进行测量并由外部专家进行检查和认证。
可见，在现代化的全球工业化生产中，对测量结果的可比性和更加严格的公差要求越来越高，和必须达到的高精度要求同等重要。然而，测量结果可比性的第一步就是确定在测量过程中造成影响的各种因素。
操作人员
众所周知，温度，振动和杂质可能会造成测量结果的不真实，但是根据一份zeiss内部的研究，这些因素对测量结果只有较小的影响，真正对测量结果的正确性和重复性有重大影响的就是关键本身、测量机、所选择的测量方法以及操作者等这些方面。根据蔡司调研的一些企业发现，影响测量结果最大的缺陷就是员工的资质，特别是缺乏测量策略的标准化和文档建立，蔡司已经验证：尽管在测量过程中，测量结果存在诸多的影响因素和误差，但是在测量过程中进行评估能极大的确保生成真实的测量结果，这一策略不仅可用在蔡司三坐标测量机，也同样可以用在非蔡司的三坐标测量机上。
内部测试
Zeiss继内部调查之后，在2011年第一次对测量过程进行了检测，鉴于卡尔蔡司半导体制造技术有限公司对供应商测量结果的不信任，对收到的每一个部件都要进行测量，同时为了避免未来重复检测成本的不必要投入，这一检测认证过程由他们的供应商负责承担。但是由蔡司内部专家开发的标准和检查表仍然对蔡司提供给所有行业公司的测量过程评估提供基础的要求，县城评估由至少有五年测量经验和曾经参加过测量培训并取得成功的专业人员操作，这些评估员首先介绍客户的课题，然后用内容详细的检查表分析测量过程，此外，他们还可以回答现场技术人员提出的问题，并对标准内容进行说明，在评估过程中，他们密切关注一切，从材料实验室和机器组合到工作人员、材料程序和机器监控，直到报告和文档生成，此外他们还用校准仪器进行现场测量，以证实结果，检查表标示出实际的测量值。
供应商审核
经验表明，基准值创建信任，以卡尔蔡司半导体制造技术有限公司为例，评估分数已经达到或者超过80分的供应商的工件，现在不再全部进行检查，这使得公司大大削减了成本并缩短了产出的时间，因此，测量过程的评估以及对供应商审核，包含的统一的报告结构并跟踪实施的措施，同时测量过程评估也应用于所有的新供应商。这样，一个供应商在工件加工的早期阶段就不仅制造零件，而且还可以证明零件质量的可靠性。
由内而外
两年多来，zeiss一直向zeiss外部供应商提供这种服务，在这段时间里有超过20家公司，主要就是汽车和光学仪器供应商接受了评估，例如，墨西哥的汽车供应商想要在自己的生产基地进行测量分析，虽然该公司的测量处于非常高的水平，但仍然有部分测量能力并没有在生产中起到作用。
存在的问题是：具体的测量任务在企业内部的各个工厂之间的解释大相径庭，这导致相同的测量任务在一个生产现场是钻孔直径的测量，在另外一个生产现场则是配合的测量，多亏了zeiss的评估服务，这家汽车供应商最终改变了其内部的相互间的通信过程，制定了涵盖所有测量参数的测量指南，并明确规定何时使用哪种补偿方法，除了测量策略有缺陷以外，经验表明，传感器的监控，温度监控和文档分类方法经常会影响测量结果的可比性，但这些影响并非经常发生，也不是随处可见，在经过审查三家工厂的测量过程后，该汽车零部件供应商的管理人员决定检查其他七个工厂的情况，这一举措确保了他们不会在测量过程中对不能相比较的特性进行比较。
