一根探针通常由三部分组成：
底座 - 测杆 - 针头
DG: 底座直径（mm）
DS: 测杆直径（mm）
ML: 有效长度（mm）
L : 总长度（mm）
DK: 测头直径（mm）
底座与螺纹
底座是螺纹和测杆之间的连接部分，蔡司把底座设计成能以最佳方式承受测杆引入的测力。
根据所用测量系统，蔡司使用M2、M3和M5螺纹。
测杆材质
测杆和截面（硬度高于管材的固体材质）的材质对探针的刚性有很大影响。对于标准探针，蔡司使用碳化物测杆作为参考对象。
测针针头
最常用测针的测头是球形的。
测针主要特性有：
测头精度
测头材质
测头重量
•测头球形的精度
与理想球形的偏差通常以“等级”进行标注。 下列是常用等级：
等级 最大偏差（μm ）
3 0,08
10 0,25
16 0,40
20 0,50
蔡司三坐标使用等级5的测头作为标准配置，对于特殊要求，例如极高精度的圆度测量，也可提供等级3的测头。
•测头材质
下表列出了测头最常用的几种材质，包括各自的主要应用领域和限制。
材质 应用领域 DK(μm)
红宝石 几乎是所有应用的标准选项。 连续扫描特定材质时可能会出现磨损或工件材料吸附。 0,12 - 12
蓝宝石 特性与红宝石一样，但可以制作直径更大的测头。 8 – 15
氮化硅 与红宝石的用法相同，但是扫描铝件时工件材料的吸附会更少。 1 – 12
陶瓷（氧化铝） 用于制作大直径球形测头、盘形测针以扫描铸铁等粗糙表面。更可制作成半球形确保最优重量。 8 – 45
氧化锆 与红宝石相比较，这种材质更软，主要用于手动测量设备。 1 – 10
碳化钨 能够用于制作特殊尺寸的球形测头，例如测量齿轮齿。 可针对测量定制， 重量较大。 2 – 30
钢 主要用于盘形测针。比碳化钨软，但可制作更大直径的测头。 30 – 100
钻石 世界上最硬的材质，扫描时不磨损、无材料吸附。 1 , 3
